本書超微細電子元件加工技術把它說成半導體製程技術可能會比較貼切一點，這是日本與台灣所使用的名詞不太一樣，但是應用的領域和方法是一樣的，在內文中所講述的製程技術從單結晶、氧化、微影、蝕刻、摻雜、薄膜製作、氣相成長法、CVD、外延成長、蒸鍍和離子鍍敷、濺鍍、精密電鍍、平坦化技術，這些是半導體製作的過程，相信想從事半導體方面的人士，閱讀此書必定會對半導體製程有所了解。
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