本書邀集了微機電技術領域近百位專家學者共同執筆撰寫。全書共十四章、一千三百餘頁，從基礎微加工製程開始，詳述矽基與非矽基微加工製程技術，並探討微機電材料，介紹微結構與微感測器、微致動器等元件技術，進而說明系統的整合與介面、系統的封裝，以及相關檢測與模擬分析技術。最後則廣泛介紹微機電系統的應用，並以微機電系統的遠景及未來發展作為邁向奈米機電技術的跳板。
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