奈米薄膜材料具有特殊的物理和化學特性，在奈米電子學中有很重要的應用前景。本書主要介紹了當前有關奈米薄膜的製造、元件和應用中較前瞻的內容和資料，詳細地闡述了中外該領域的發展動向及趨勢。內容包括：奈米薄膜材料的基本概念；材料的製造方法以及物理、化學性能；半導體奈米量子點；Si基奈米薄膜與元件；奈米薄膜的電子轉移和單電子電導等。
作者簡介：
校訂者簡介：
張勁燕
現職：逢甲大學電子工程系副教授
學歷：交通大學電子工程系研究所博士
經歷：新加坡Intersil電子公司工程師
ITT環宇電子公司工程部經理
台灣電子電腦公司半導體廠廠長
萬邦電子公司總工程師
明新工專電子科副教授（或兼科主任）
逢甲大學電機系副教授（或兼系主任）
專長：半導體元件、物理
VLSI製程設備及廠務
奈米科技
積體電路構裝