我國半導體光電產業經過二十餘年來的發展，已經形成完整的供應鏈體系。在這半導體光電產業鏈中，製程設備與檢測設備是最關鍵的一環。這些設備的性能，關係著生產的成本及品質。「設備本土化」將是臺灣半導體製程設備相關產業發展的重要根基。這也提醒了我們，提高產業的設備自製率、掌控關鍵技術與專利，才能有效降低生產成本，提高國家競爭力。
本書內容可分為兩部份，第一部份是由第一章至第六章所組成的基本技術原理介紹，內容包括各種光機電元件的介紹，電氣致動、氣壓致動、各式感應元件與光學影像系統的選配等。第二部份則是由第七章至第十章所組成的光機電實體機台與系統應用，內容包括雷射自動聚焦應用設備，觸控面板圖案蝕刻設備，LED燈具量測系統與積層製造設備等。
本書特色:
本書的編撰人員除學界老師外，特別邀請工研院的專家學者，將其研發經驗，尤其是針對實體機台的設計製作等實務經驗，撰寫成相關章節收錄其中。本書除了詳細的學理知識外，更包含廣泛實務的應用，提供有志於光機電產業的讀者入門之參考。
作者簡介：
李朱育
現職：國立中央大學 機械工程學系暨光機電工程研究所 副教授(2008,8~迄今)
學歷：國立交通大學 光電工程研究所 博士(1999,6)
經歷：工業技術研究院 量測技術發展中心 研究員(1999,10~2004,8)
國立中央大學 機械工程學系暨光機電工程研究所 助理教授(2004,8~2008,7)
劉建聖
現職：國立中正大學 機械工程學系 助理教授(2012,8~迄今)
學歷：國立成功大學 機械工程學系 博士(2010,6)
經歷：工業技術研究院 南分院 雷射應用科技中心 工程師(2003,2~2011,1)
國立中央大學 機械工程學系 助理教授(2011,2~2012,7)
利定東
現職：國立中央大學 機械工程學系暨光機電工程研究所 (2009,8~迄今)
學歷：美國密西根州立大學 博士 (1982,3)
經歷：美國應用材料 資深處長(2004,5~2007,3)
國立中央大學 電機工程學系 客座教授(2007,8~2009,7)
工研院電光所 金屬中心 顧問 (2007,5~2010,12)
洪基彬
現職：工業技術研究院 南分院 積層製造與雷射應用中心 中心主任(2013,4~迄今)
學歷：國立成功大學 光電工程與科學研究所 博士(2007,6)
經歷：工業技術研究院 雷射應用科技中心 中心副主任(2006,3~2013,3)
工業技術研究院 光電工程研究所( 2004,8~2006,3)
蔡裕祥
現職：華夏技術學院機械系 副教授(2005,6~迄今)
學歷：台灣大學 機械工程學研究所 博士(2005,1)
經歷：華夏工商專科學校 機械科 講師(1995,8~2004,7)
華夏技術學院機械系 講師(2004,8~2005,5)
黃衍任
現職：國立中央大學 機械工程學系 教授(2002,2~迄今)
學歷：美國加州大學柏克萊分校 機械工程研究所 博士(1993, 6)
經歷：國立中央大學 學務處僑生暨外籍生輔導組 主任(2004,8~2007,7)
國立中央大學 機械工程學系 副教授(1994,8~2002,2)
王雍行
現職：工業技術研究院 南分院 積層製造與雷射應用中心 工程師(2009,7~迄今)
學歷：國立清華大學 動力機械工程研究所 碩士(2004,6)
經歷：工業技術研究院 光電所 副工程師(2005,1~2005,12)
工業技術研究院 南分院 積層製造與雷射應用中心 副工程師(2006,1~2009,6)
林央正
現職：工業技術研究院 南分院 積層製造與雷射應用中心 工程師(2008,9~迄今)
學歷：國立中央大學 光電科學研究所 碩士(2000,6)
經歷：台灣積體電路有限公司 產品工程師(2003,2~2003,7)
協志高中 專任教師(2003,8~2008,7)
胡平浩
現職：工業技術研究院 雷射應用系統部 工程師(2007,7~迄今)
學歷：國立清華大學 物理研究所 碩士(2005,7)
李炫璋
現職：工業技術研究院 南分院 積層製造與雷射應用中心 研究員(2000,9~迄今)
學歷：國立雲林科技大學 電機工程研究所 碩士(1998,6)
經歷：資訊工業策進會 資訊技術處 副工程師(2000,6~2000,8)
楊鈞杰
現職：工業技術研究院 南分院 工程師(2001~迄今)
學歷：國立交通大學 電子物理學系 碩士(2001.06)
經歷：工業技術研究院 南分院 光電所 工程師(2001,10~迄今)
莊傳勝
現職：工業技術研究院 南分院 積層製造與雷射應用中心 工程師(2005,1~迄今)
學歷：國立雲林科技大學 機械工程研究所 碩士(2004,6)
林敬智
現職：工業技術研究院 南分院 積層製造與雷射應用中心 工程師(2005,1~迄今)
學歷：國立台灣科技大學 機械工程研究所 碩士(2004,7)
經歷：工業技術研究院 南分院 積層製造與雷射應用中心 工程師(2010,7~2013,9)
工業技術研究院 南分院 雷射應用科技中心 副工程師(2005,1~2010,6)