本研究目的針對四氫化矽的製造與儲存安全進行研究與探討，主要蒐集國內、外四氫化矽相關之安全衛生法規與規範，並辦理專家座談會，藉由與會之學者、專家與四氫化矽供應業代表之意見交流與討論，以瞭解產業界目前與未來可能之問題與困難。
透過至國內知名半導體、光電及太陽能光電產業之製程現場和國內供應四氫化矽量之最大前兩大供應商灌裝現場進行訪視輔導，以有效探討國內業者的管理實際狀況及普遍作業方式，並針對國內四氫化矽相關之法規適用性與修正提出建議。
本研究主要成果如下：(1) 對四氫化矽供應製程進行初步危害分析、危害性與可操作性分析(HazOp)與制訂出供氣作業之安全查核表；(2) 藉由ALOHA軟體對四氫化矽洩漏之危害進行模擬，並探討噴射火焰長度、熱輻射危害、爆炸波及範圍和健康危害範圍等模擬研究；(3) 提出國內勞工安全衛生設施規則有關四氫化矽部分條文修正與四氫化矽危害預防指引草案之建議。
藉由上述資訊分析與四氫化矽供應製程危害預防與控制應注意事項之探討，本研究將訂定出四氫化矽危害預防指引草案，本研究成果能提供國內四氫化矽相關主管機構作為修訂現行法規與制定四氫化矽生產、製造與儲存危害預防止引之重要參考依據。
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