對於先進晶圓製造業之勞工列管有害物暴露進行研究，調查作業場所之勞工所暴露之化學性危害及其相關之控制措施，其實際測量得到之數值仍大多數遠低於法令所稱之容許濃度，更難推估從業勞工之健康風險。
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