微機電系統技術入門(05612) | 拾書所

微機電系統技術入門(05612)

$ 280 元 原價 280

在本書中,介紹半導體微細技術來製作微小機械,從一開始製作微型齒輪到微型馬達的運轉,進而利用微加工和微機械技術運用在商品化,例如大部分從微鏡面反射的畫像投影顯示器、汽車安全氣囊起動的加速度感測器、巡航用的陀螺儀、噴墨印表機的噴頭等各種製品。微機械技術的特徵,是製作微細立體結構,應用半導體微細技術。當然還要加上半導體微加工,各種波束加工,微細機械加工,微細組裝,自我組織化組裝等輔助用法。兩者之間決定性的不同,對於半導體微加工,大部分結構是一次性加工的批次加工技術,其它的加工法原則上則是一步步的順序加工。

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