第一章 積體電路與潔淨技術簡史 第二章 晶圓上之污染物及表面狀態對元件之影響 第三章 過去的潔淨技術─以RCA清洗法為中心 第四章 晶圓表面污染物的附著及清洗機構 第五章 新的清洗方法─以擺脫RCA清洗法為目標 第六章 溼式清洗設備 第七章 乾式清洗法 第八章 晶圓表面污染物的檢測方法 第九章 潔淨技術的課題及今後的展望 英中文索引
