本書將以本研究群多年來教學與研究成果的實例，來說明設計的3D CMOSFET與 FinFET元件與電路，物性與電性模擬結果的解讀與分析，簡明易懂，而非直接使用原廠Sentaurus TCAD v. 2014內建繁複之範例。此書所教授的三維TCAD模擬CMOS奈米電子元件的設計與模擬技術，在半導體產業與半導體學術研究中具有相當的實用性、代表性，並可增進前瞻半導體元件開發。同時亦可深入了解半導體元件物理，與半導體工程所學內容的實踐性。適合從事半導體奈米元件，研究開發的碩博士研究生修習，以及相關半導體產業界工程師與相關專家參考。
