真空技術是現代科技的基石，從民生相關的食品包裝、眼鏡鍍膜、電視映像管，到高科技產業中的光電元件與半導體製程、尖端的材料分析儀器，甚至龐大的同步輻射加速器，真空技術都扮演著重要的核心角色。沒有真空技術就無法享受高品質的現代生活，也不足以從事高科技的研究。真空技術的進步，不僅可精進儀器設備的性能，並能提升各種產業製程效能及產率，進而實現許多技術的創新。因此，真空技術可說是未來科技產業及科學研究發展的重要基礎。
本中心成立以來，即致力於真空技術的研究與開發，在真空系統、真空幫浦、真空鍍膜與真空檢校等領域皆累積了豐厚的技術能量。鑑於真空技術在科學硏究與產業發展上的重要性，且落實科技書籍中文化，便利民眾閱讀，亦為本中心的重要工作之一，因此，繼八十七年推出「儀器總覽」獲得熱烈回響及肯定後，乃積極籌劃出版涵括真空技術理論基礎與應用實務的書籍一「真空技術與應用」。
本書共有二十四章，概分為基礎及實務二篇。基礎篇探討真空技術的理論及真空元組件等，內容包括真空技術的基礎理論、各式真空幫浦的介紹、各類真空元件及材料、真空系統的設計組裝、真空測漏，以及真空度量與檢校等；實務篇則介紹真空技術的應用，內容包括真空技術在各種鍍膜技術、製程系統及學科領域的應用與需求。
本書的編纂從籌編到出版歷時三年，邀集了產、學界五十餘位專家共同執筆撰寫，在此謹對所有參與策劃、審稿的委員及撰稿的專家學者特致謝忱，由於他們的鼎力協助，本書方能順利付梓。希冀藉由本書的出版，能促進國內真空技術的精進，進而帶動相關科學硏究的發展與產業技術的升級。本書内容如tl疏漏之處，冀望讀者先進不吝指正，俾供未來修訂增補時之參考。