半導體(Semiconductor)是介於導體(Conductor)與絕緣體(Insulator)之間的材料。我們可以輕易的藉由摻質(Dopant)的摻雜(Doping)去提高導電度(Conductivity)。其中二六族及三五族是為化合物半導體(Compound Semiconductor)材料，大部分是應用於光電領域，如發光二極體(Light Emitting Diode, LED)、太陽能電池(Solar cell)等。而目前的積體電路(Integrated Circuit, IC)領域，主要還是以第四族的矽(Si)為主的元素半導體，也就是目前的矽晶圓(Silicon Wafer)基底材料(Substrate) 。
在未來的日子，我們可預見晶圓廠裡將有可能全面改為自動化的運作，到那時將不再需要大量的操作人員。而主要的人力將會是工程師(含)以上的職務，所以希望能以此書與各位以及想轉
半導體製程設備技術 (第2版)
- 作者： 楊子明/ 鍾昌貴/ 沈志彥/ 李美儀/ 吳鴻佑/ 詹家瑋; 吳耀銓/ 校閱
- 出版社： 五南圖書出版股份有限公司
- 出版日期： 2017-12-25
- ISBN碼： 9789571195131
- 編號： 1001116712650025
$ 504 元
原價 560